11月18-19日,SIMAXAT参加了2021(十三届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会(暨成果展),简称“MEMS国际会议”。我们展示了MicroMaster ATE100, PicoMaster ATE100, PicoMaster ATE150, PicoMaster ATE200, PicoMaster XF ATE500 等系列亚微米激光直写光刻设备。我们和与会的MEMS产业链上下游的各知名企业、投资机构、科研院所、高校、政府机构及行业协会等就亚微米激光直写光刻技术在传感器与MEMS的应用进行了深入有效地讨论和交流。许多参观者对我们的激光直写光刻设备和技术表示浓厚的兴趣。